Product
반도체
EFEM
EFEM
- 다양한 EFEM 라인업 보유
- 1Port ~ 6Port LPM 탑재
- 사용 요구에 따른 맞춤 구성 가능
- FFU 차압 연동 Mode 사용가능
- SEMI Standard 준수
Features
- EFEM은 반도체 제조 공정에서 Wafer를 처리하는 장비의 전면 모듈로 Wafer의 이동, 로딩/언로딩,정렬 등의 작업을 담당하며
- 반도체 제조 공정에서 효율적이고 안정적인 Wafer 처리를 가능하게 합니다.
