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Product

EFEM

  • 拥有多款 Line-up EFEM
  • 可搭载 1Port ~ 6Port LPM
  • 可根据客户需求量身定制
  • 可使用 FFU 差压联动 Mode
  • 符合 SEMI Standard
咨询 (采购 /AS)
EFEM

Features

  • EFEM是半导体制造工艺中Wafer处理设备的前端模块，负责Wafer的移动、上/下料、排序等工作，协助半导体制造工艺间的Wafer处理实现高效与稳定。

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WTR

Pre Aligner

LPM

Specification

Specification

Object Size

Port

Type

Option

6” , 8”, 12” Wafer

1~6 Port

Telescopic, Beam

Customizing

300 x 300, 415 x 510, 600 x 600 PCB

1~6 Port

Telescopic, Beam

Customizing