Vertical Type
本产品是在半导体主工艺工序内用于晶圆移送及装载的Transfer Robot，具有精准位置控制、高信赖性/高精度等特征。
- 可以对应 6, 8, 12" 晶圆
- 采用Slide结构，提高直线度和速度
- Arm Stroke : 480mm
- Z轴 Option (对应 Low Pass Line 及 Long Stroke)：Stroke 及 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw 等)
- 行程轴Option：Stroke及Type（Linear、Belt、Bass Screw、Rack Pinion等）
Linear Type
本产品是在半导体主工艺工序内用于晶圆移送及装载的Transfer Robot，具有精准位置控制、高信赖性/高精度等特征。
- 可以对应 6, 8, 12" 晶圆
- 采用Slide结构，提高直线度和速度
- Arm Stroke : 480mm
- Z轴 Option (对应 Low Pass Line 及 Long Stroke) : Stroke 及 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw等)
- 行程轴 Option：Stroke及Type（Linear、Belt、Bass Screw、Rack Pinion 等）
Standard Robot
本产品是在半导体主工艺工序内用于晶圆移送及装载的Transfer Robot，具有精准位置控制、高信赖性/高精度等特征。
- 可以对应 6, 8, 12" 晶圆
- 因Link Arm有多种尺寸可供选用，所以可对应以Stroke为基准最小旋转半径的Stroke（Single/Dual）
* 100mm, 130mm, 150mm, 165mm, 175mm, 250mm
- 根据晶圆尺寸选用最佳Link Arm，实现最小旋转半径
- Z轴 Option (对应Low Pass Line 及 Long Stroke)：Stroke 及 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw 等)
- 行程轴 Option：Stroke及Type（Linear、Belt、Bass Screw、Rack Pinion等）
Reverse Robot
本产品是在半导体主工艺工序内用于晶圆移送及装载的Transfer Robot，具有精准位置控制、高信赖性/高精度等特征。
- 可以对应 6, 8, 12" 晶圆
- Flip Stroke : 0~180°
- Z轴 Option (对应 Low Pass Line 及 Long Stroke) : Stroke 及 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw 等)
- 行程轴 Option：Type（Linear、Belt、Bass Screw、Rack Pinion 等）
Telescopic Robot
本产品是在半导体主工艺工序内用于晶圆移送及装载的Transfer Robot，具有精准位置控制、高信赖性/高精度等特征。
- 可以对应 6, 8, 12" 晶圆
- 2级Telescope方式的Body
- 因Link Arm有多种尺寸可供选用，所以可对应以Stroke为基准最小旋转半径的Stroke（Single/Dual）
*100mm, 130mm, 150mm, 165mm, 175mm, 250mm
- 根据晶圆尺寸选用最佳Link Arm，实现最小旋转半径
- Z轴 Option (对应 Low Pass Line 及 Long Stroke) : Stroke 及 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw 等)
- 行程轴 Option：Stroke及Type（Linear、Belt、Bass Screw, Rack Pinion 等)
